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山东大学新一代半导体材料集成攻关大平台筑牢产业材料根基

关于“山东大学新一代半导体材料集成攻关大平台筑牢产业材料根基”相关信息，共计1条，浏览量66

更新时间：2小时前

山东大学新一代半导体材料集成攻关大平台筑牢产业材料根基——“小晶体”带动“大产业”

走进山东大学晶体研发车间，一排排高达3.5米的碳化硅单晶生长设备整齐排列，2000多摄氏度的炉腔透出橘红色光亮，高温中正进行着神奇的化学反应——一块块碳化硅晶体正快速生长。晶体经过滚圆、整形、定向、切割、研磨、抛光等一系列工序后，一片片厚度0.5毫米、直径200毫米的薄圆片——8英寸碳化硅单晶衬底最终成型。这是国内大尺寸碳化硅生长与加工技术的又一标志性突破。

关键词：

山东大学新一代半导体材料集成攻关大平台筑牢产业材料根基山东大学在职研究生在职研究生

66浏览2024-03-28

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